日本加野3900粒子計數器測潔凈廠房懸浮粒子的方法
采用計數濃度法,即通過塵埃粒子計數器測定潔凈環境內單位體積空氣中含大于或等于某粒徑的懸浮粒子數,來評定潔凈室(區)的懸浮粒子潔凈度等級。
面積㎡ | 潔凈度級別 | ||
100 | 10,000 | 100,000 | |
< 10 | 2 ~ 3 | 2 | 2 |
≥ 10 ~< 20 | 4 | 2 | 2 |
≥ 20 ~< 40 | 8 | 2 | 2 |
≥ 40 ~< 100 | 16 | 4 | 2 |
≥ 100 ~< 200 | 40 | 10 | 3 |
≥ 200 ~< 400 | 80 | 20 | 6 |
≥ 400 ~< 1000 | 160 | 40 | 13 |
≥ 1000 ~< 2000 | 400 | 100 | 32 |
2000 | 800 | 200 | 63 |
注:表中的面積,對于單向流潔凈室,指的是送風面積;對于非單向流潔凈室,指的是房間面積。 |
潔凈度級別 | 采樣量, L/ 次 | |
≥ 0. 5 um | ≥ 5 um | |
100 | 5.66 | — |
10,000 | 2.83 | 8.5 |
100,000 | 2.83 | 8.5 |
A= | C 1 +C 2 + … +Cn |
N |
M= | A 1 +A 2 + … +An |
L |
SE= | (A 1 -M) 2 +(A 2 -M) 2 + … (A L -M) 2 |
L(L-1) |
采樣點數 L | 2 | 3 | 4 | 5 | 6 | 7 | 8 | 9 | > 9 |
t | 6.31 | 2.92 | 2.35 | 2.13 | 2.02 | 1.94 | 1.90 | 1.86 | — |
注:當采樣點數多于 9 點時,不需要計算 UCL 。 |